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    熱釋電紅外探測單元及制造方法及其熱釋電紅外探測器

    923   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 23:19:16
    本發明實施例公開了一種熱釋電探測單元，包括：陶瓷襯底；鉭酸鋰晶片；下電極層，形成在鉭酸鋰晶片的第一表面上，并且由多孔黑金金屬薄膜形成并與陶瓷襯底接觸；上電極層，形成在鉭酸鋰晶片的第二表面上，并且由黑金金屬薄膜形成；過渡層，形成在上電極層上；介質層，形成在過渡層上；吸收層，形成在介質層上。本發明的實施例中，下電極層是多孔的結構，具有較大的孔率，因此熱傳導率較低，可以降低熱損失。因此該熱釋電探測器可以較多的吸收紅外輻射及太赫茲輻射，具有較小的熱損失，從而提高了熱釋電探測器的性能。
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