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    > 具有抗等離子體腐蝕性的微晶玻璃及包括該微晶玻璃的干式蝕刻工藝部件

    具有抗等離子體腐蝕性的微晶玻璃及包括該微晶玻璃的干式蝕刻工藝部件

    1019   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 23:19:17
    本發明涉及微晶玻璃的新用途，具體是，包括類晶體和玻璃質，類晶體以焦硅酸鋰作為主晶相，以從磷酸鋰(Li3PO4)、偏硅酸鋰(Li2SiO3)、二氧化硅(SiO2)和二氧化鋯(ZrO2)中選擇的至少一種晶相作為副晶相包含的微晶玻璃是其加工性優良，抗等離子體腐蝕性突出而有利于干式蝕刻工藝用部件的制造。
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