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    制造熱釋電紅外探測器敏感單元的方法

    1022   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 23:19:18
    本發明公開了一種制造熱釋電紅外探測器敏感單元的方法，包括：制備鉭酸鋰晶片襯底；在鉭酸鋰晶片襯底的第一表面上形成鉻金屬薄膜；在鉻金屬薄膜上形成鎳金屬薄膜；在鎳金屬薄膜上形成第一鉻鎳合金層并刻蝕形成上電極；在鉭酸鋰晶片襯底的第二表面上形成第二鉻鎳合金層并刻蝕形成下電極。根據本發明的實施例的方法制造的熱釋電紅外探測器敏感單元的吸收層具有附著牢固、重復性好、吸收波段寬、光譜平坦、吸收率高、比熱容小、傳熱性能優良的優點。同時吸收層可兼做電極，適合作為熱釋電紅外探測器的吸收層。
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    聲明：
    “制造熱釋電紅外探測器敏感單元的方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
    我是此專利(論文)的發明人(作者)
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