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    可實現自發準相位匹配頻率轉換的跑道型微環腔

    869   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 23:20:03
    本發明公開了一種可實現自發準相位匹配頻率轉換的跑道型微環腔，涉及光學技術領域，該跑道型微環腔包括由上至下依次設置的空氣覆蓋層、X切鈮酸鋰薄膜層、二氧化硅絕緣層和硅襯底層，該跑道型微環腔由X切鈮酸鋰薄膜層刻蝕而成，包括兩個直波導，兩個半圓環波導和滑輪型耦合波導，兩個直波導設置完全相同，兩個半圓環波導設置為以鈮酸鋰晶體的Y軸鏡像對稱。本發明提供的跑道型微環腔可在不改變晶體屬性的前提下實現準相位匹配，相較于傳統外加電場極化的方法加工流程大幅度簡化，且可用于提升多種波段下的二階非線性頻率轉換效率，對制備集成量子光學芯片中的量子光源具有一定的意義。
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    加工技術
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