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    超薄硅膜及其制備方法和用途

    875   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 23:20:04
    本發明提供了一種超薄硅膜及其制備方法和用途，該超薄硅膜自下而上依次包括導電基底層、硅膜層和鈍化層，由磁控濺射和原子層沉積方法制備得到。該超薄硅膜的硅膜層厚度均勻可控，鈍化層厚度適宜，具有優異的電化學性能，用于鋰二次電池的電極，能夠改變電極材料表面的電化學反應、加快鋰離子在充放電過程中的嵌入和脫嵌過程，從而大幅度提高鋰二次電池的性能。
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    聲明：
    “超薄硅膜及其制備方法和用途” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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