本發明涉及一種基于共路干涉的集成電場傳感器,屬于電場測量技術領域。傳感器包括鈮酸鋰基片、硅基片、墊片、探測單元和調制單元,鈮酸鋰基片和硅基片通過紫外固化膠相互粘接,鈮酸鋰基片和硅基片分別通過紫外固化膠與墊片相互粘結。探測單元包括兩個上接觸電極、連接導線和兩個偶極子天線;調制單元包括兩個下接觸電極、光波導和兩個調制電極。本發明的電場傳感器,具有良好的溫度穩定性;在保證傳感器尺寸較小的基礎上,顯著提高了電場測量的靈敏度和動態范圍;本發明設計的二維電場傳感器,使探測單元中的兩對天線的軸線方向正交,與調制單元相組合,可實現二維電場測量。
聲明:
“基于共路干涉的集成電場傳感器” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
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