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    帶介電薄膜的基板及使用其的光調制元件

    800   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 23:20:20
    本發明提供一種帶介電薄膜的基板，即使在將鈮酸鋰膜的膜厚增厚至例如1μm以上的情況下，也難以產生裂紋。本發明的帶介電薄膜的基板具備：單晶基板(2)；介電薄膜(3)，其由外延形成于單晶基板(2)的主面(2a)的c軸取向的鈮酸鋰構成。介電薄膜(3)具有包含第一結晶和以c軸為中心使第一結晶進行了180°旋轉得到的第二結晶的雙晶結構，X射線衍射法進行的極點測定中，對應于第一結晶的第一衍射強度與對應于第二結晶的第二衍射強度之比為0.5以上且2.0以下。由此，容易緩和蓄積于鈮酸鋰膜內部的應變，因此可抑制伴隨膜厚增加的裂紋的產生。
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