本發明涉及一種Ge(Ⅱ)前驅體及其制備方法和應用,所述Ge(Ⅱ)前驅體是由如式(A)、式(B)或式(C)所示的配體與鍺的二氯化物通過配位作用形成的配位化合物;所述鍺的二氯化物包括二氯化鍺、二氯化鍺水合物或二氯化鍺配合物。其制備方法為在保護性氣體保護下,將配體與烷基鋰進行反應,得到鋰鹽;再將鋰鹽與鍺的二氯化物進行反應,得到所述Ge(Ⅱ)前驅體。該制備方法制備工藝簡單、條件溫和、原料低廉、能耗低、經濟環保,且制備得到的Ge(Ⅱ)前驅體具有優良的熱穩定性、揮發性、成膜性。
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