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    > 采用超薄壓電單晶體制作的薄膜體聲波諧振器

    采用超薄壓電單晶體制作的薄膜體聲波諧振器

    845   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 23:20:26
    本發明提出一種采用超薄壓電單晶體制作的薄膜體聲波諧振器，包括具有地室的高阻襯底、由上金屬電極和下金屬電極夾持壓電體組成的三明治有源結構，三明治有源結構設置于高阻襯底上端；所述壓電體為超薄壓電單晶體，地室內設有若干根支柱。超薄壓電單晶體所用的壓電單晶體，為所有可實用化的壓電單晶體，如石英、鉭酸鋰、鈮酸鋰、四硼酸鋰、鍺酸鉍、硅酸鉍、硅酸鎵鑭系列、正磷酸鋁和鈮酸鉀。所用的高阻襯底，為硅、石英、碳化硅、三氧化二鋁、藍寶石、金剛石等微電子技術常用襯底材料。本發明的優點有：超薄壓電單晶體，晶體完整性未被破壞，為完美單晶；可以自由選擇晶體及其晶向，優化器件性能；超薄壓電單晶體生產技術前景明朗。
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