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    高分辨率高透光度半導體用3D打印式正性光刻膠

    1077   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 23:20:26
    本發明公開了一種高分辨率高透光度半導體用3D打印式正性光刻膠，其通過以下方法制備：采用稀土物質、鈦源、可溶性鎂鹽、可溶性鋰鹽、甲基丙烯酸酯單體等為原料，通過高溫水熱反應制得鈦酸鎂鋰改性甲基丙烯酸酯單體；然后將其參通過自由基聚合反應，合成制得以鈦酸鎂鋰膠體粒子為“錨點”的高度支化的改性丙烯酸樹脂；之后將改性丙烯酸樹脂、產酸劑、助劑等充分分散均質，即制得流動性好、聚合度高、抗蝕刻性能優異的光刻膠成品。該光刻膠屬于化學放大類，其在193nm深紫外光源下感光性能強，靈敏度好，分辨率達到0.09～0.11μm，光刻綜合性能達到國際最先進水平，應用前景極為廣闊。
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    “高分辨率高透光度半導體用3D打印式正性光刻膠” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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