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    基于LNOI光子平臺的硅光探測器及其制備方法

    1015   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 23:20:27
    本發明公開了一種基于LNOI光子平臺的硅光探測器及其制備方法，包括設于絕緣體襯底上的鈮酸鋰薄膜、單晶硅層和電極，所述絕緣體襯底包括支撐襯底層和光絕緣層，所述支撐襯底層設于所述光絕緣層的一側，所述鈮酸鋰薄膜設于所述光絕緣層的另一側，所述鈮酸鋰薄膜的另一側設有所述單晶硅層，在所述單晶硅層上設有所述電極。相對于現有技術，本發明提出的基于LNOI光子平臺的硅光探測器及其制備方法，由于硅為單晶硅，材料中的缺陷極少，大大提高了光生載流子的收集效率，所制備的器件具有高響應率，低電容，低暗電流和高靈敏度的優點，同時離子束剝離制備的單晶硅層厚度均勻性極好，器件性能穩定，具有極大應用前景。
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    “基于LNOI光子平臺的硅光探測器及其制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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