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    帶有人工疇構造的聲表面波器件用的基片及其制備方法

    904   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 23:22:21
    一種帶有人工疇構造的聲表面波器件用的基片及其制備方法，該基片為鈮酸鋰晶體或鉭酸鋰晶體制成的晶片，所述晶片為單面或雙面鏡面拋光，晶片的背面分布有周期性反轉線條疇或點陣疇，反轉線條疇或點陣疇的周期寬度為3~200微米，反轉線條疇或點陣疇的深度為晶片厚度的1/10~1/1。該晶片的正面用于制作SAW叉指換能器，制作的SAW器件具有低靜電、低溫度系數等優點。
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