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    改進型壓差法在硅微通道內壁上液流沉積薄膜的方法和裝置

    951   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 23:22:36
    本發明公開了一種改進型壓差法在硅微通道內壁上液流沉積薄膜的方法和裝置，它包括容器；所述的容器由隔板將腔體分隔成兩個腔體：第一腔體和第二腔體；第一腔體和第二腔體之間的隔板上設置有連通兩個腔體的卡槽；所述的卡槽上放置有硅微通道；在第一腔體和第二腔體之間設置有循環泵，其中，循環泵的進水口設置于第二腔體的底部，出水口設置于第一腔體的上方；所述的第一腔體內注有進行液流沉積的鍍液。本發明的有益效果在于：明顯的改善了用傳統沉積方法與傳統的壓差沉積法進行薄膜沉積時，硅微通道內壁上出現的薄膜沉積不均勻的現象，用此改進型壓差液流沉積法進行薄膜沉積的硅微通道作為鋰離子電池的電極，可提高鋰離子電池的整體性能。
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