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    利用真空磁控濺射技術在PE隔膜表面制備陶瓷膜的方法

    713   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 23:24:41
    本發明公開一種利用真空磁控濺射技術在PE隔膜表面制備陶瓷膜的方法，該方法是將要處理的PE隔膜在凈化房內分切成需要的尺寸后安裝在設備的放卷輥上；開啟Roll?Roll真空磁控濺射鍍膜設備，調整設備至可鍍膜工藝條件；開啟離子源轟擊PE膜，將聚烴高分子鍵部分打開；在聚烴分子鍵打開的同時，開啟中頻濺射陰極，利用中頻磁控濺射陰極反應濺射Si靶材，形成SixNy?陶瓷材料嵌入到被打開的聚烴分子鍵位置，形成陶瓷膜；在真空狀態下進行退火處理，消除陶瓷膜應力；收?放卷連續濺鍍；整卷鍍膜完成；破真空；取下收券輥；取樣檢查性能；包裝入庫；它通過利用真空磁控濺射鍍膜技術在鋰電池用PE隔離膜上沉積一層陶瓷膜，改善PE隔膜對電解液的潤濕性和提高PE隔膜熱穩定性。
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