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    蒸鍍膜的形成方法

    1161   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 23:28:24
    本發明提供一種同時形成鋰二次電池的集電引線形成部和電極活性物質部、批量生產性優異的真空蒸鍍裝置。在將閘門(12a、12b)關閉的狀態下,將卷繞于第一輥(3)的基板(4)送出,向第二輥(8)搬送,直至到達第一和第二能夠蒸鍍區域(60a、60b)時停止。在此,打開閘門(12a),使蒸發源(9)的坩堝內的蒸鍍原料蒸發,向位于第一能夠蒸鍍區域(60a)的基板(4)的表面供給。由此,在基板(4)的表面形成第一層蒸鍍膜。以規定時間在基板(4)進行蒸鍍之后,關閉閘門(12a)。接著再次搬送基板(4),使在第一能夠蒸鍍區域(60a)蒸鍍形成的部分停止于第二能夠蒸鍍區域(60b)的位置。打開閘門(12a、12b),再次進行蒸鍍,在第一能夠蒸鍍區域(60a)形成第一層,并且在第二能夠蒸鍍區域(60b),在第一層之上形成與第一層成長方向不同的第二層蒸鍍膜。
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    “蒸鍍膜的形成方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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