本發明公開了一種三倍頻紫外激光器,上述三倍頻紫外激光器包括光連接的種子源、激光放大器及三倍頻模塊,種子源為增益開關皮秒種子源;激光放大器為光連接的多級放大器;三倍頻模塊在光路上依次包括聚焦透鏡、二倍頻晶體及其加熱爐、三倍頻晶體及其加熱爐、紫外光分離器和準直器,其中聚焦透鏡、二倍頻晶體及其加熱爐、三倍頻晶體及其加熱爐共軸設置,二倍頻晶體為一類相位匹配的三硼酸鋰(LBO)晶體,三倍頻晶體為二類相位匹配的三硼酸鋰(LBO)晶體。按照本發明實現的三倍頻紫外激光器,產生的種子光重復頻率可調,脈寬可調,且為皮秒量級,并且是單模、線偏振光,經放大和三倍頻后,紫外激光的特征與種子光一致,功率可達35W,效率高達50%。
聲明:
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