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    半導體級四（甲乙氨基）鋯的制備方法

    953   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 23:28:25
    本發明公開了半導體級四(甲乙氨基)鋯的制備方法，在惰性氣氛保護下，在反應器中加入甲乙胺和烴類溶劑，然后向體系中加入有機鋰化合物，制得甲乙胺基鋰；向體系中加入四氯化鋯；反應結束后進行過濾以及蒸餾，得到四(甲乙氨基)鋯；四(甲乙氨基)鋯經過提純、吸附和過濾，得到高純半導體級四(甲乙氨基)鋯產品。不需要任何醚類溶劑，只需要單一的烴類溶劑即可，降低了合成成本和反應的毒性，具有更好的操作性，其產率較高，易于規?；纳a；經過純化、吸附、過濾等步驟，最終使產品的純度、顆粒度均較好滿足半導體行業的產品要求。
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    “半導體級四（甲乙氨基）鋯的制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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