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    聲表面波濾波器的叉指換能器的制作方法

    836   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 23:29:35
    本發明公開了一種聲表面波濾波器的叉指換能器的制作方法，通過在襯底背面蒸鍍金屬Ti形成Ti金屬層，然后再在襯底的正面進行IDT制程形成IDT金屬層，最后通過濕法刻蝕工藝去除Ti金屬層。Ti金屬層在IDT制程中不僅可以實現遮光，還具有良好的導熱性能，因此可以避免黃光制程的固化過程中晶圓受熱不均導致光刻膠形貌不一致，有效改善鉭酸鋰或鈮酸鋰晶圓上IDT金屬層CD均勻性。并且金屬Ti具有較低的熱膨脹系數，散熱效果好，避免晶圓襯底在黃光制程中由于受熱不均產生破裂。相比于鎳等其他金屬，蝕刻Ti金屬層生成的鈦絡合物不會帶來環境污染，Ti金屬層的去除操作安全性高。
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    聲明：
    “聲表面波濾波器的叉指換能器的制作方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
    我是此專利(論文)的發明人(作者)
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