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    單晶壓電體聲波諧振器、濾波器及電子設備

    937   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 23:32:18
    本發明涉及一種體聲波諧振器，包括：基底；聲學鏡空腔；底電極；頂電極；和單晶壓電層，設置在底電極與頂電極之間，其中：壓電層的下表面與基底的上表面之間設置有支撐結構，壓電層與基底大體平行布置；所述底電極的下側設置有下鈍化層，所述下鈍化層覆蓋所述底電極在所述空腔內的表面的至少一部分；且所述下鈍化層的邊界在水平方向上處于所述壓電層的邊界的內側。所述壓電層為單晶鈮酸鋰壓電層或單晶鉭酸鋰壓電層。本發明還涉及一種濾波器，和一種電子設備。
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