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    基于電光調制器及驅動電路的三維集成器件及方法

    1175   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 23:32:19
    本發明揭示了一種基于電光調制器及驅動電路的三維集成器件及方法，所述器件包括驅動電路結構、及集成于驅動電路結構上的電光調制器，所述電光調制器包括層疊設置于驅動電路結構上的隔離層、倒脊型波導結構、包層、及行波電極，所述倒脊型波導結構包括氮化硅層及位于氮化硅層上方的鈮酸鋰單晶薄膜，氮化硅層中形成有若干刻蝕區域，所述行波電極與驅動電路結構電氣連接。本發明中驅動電路與電光調制器通過垂直三維集成和通孔的方式進行電氣連接，可將驅動電路中的高頻電信號傳輸到電光調制器的行波電極中，通過電光效應將高頻信號加載到氮化硅/鈮酸鋰光波導的光波中，從而實現電信號到光信號的轉換。
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    “基于電光調制器及驅動電路的三維集成器件及方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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