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    基于壓電薄膜的雙軸微反射鏡

    955   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 23:35:20
    本發明涉及一種基于壓電薄膜的雙軸微反射鏡。本發明利用類似鈮酸鋰/鉭酸鋰的壓電薄膜特定切向的e16壓電應力常數，在這類壓電薄膜的特定的切向上，在兩個面內方向上擁有較高的e16，可被用于直接驅動兩個垂直方向的振蕩軸的偏轉，從而實現在兩個扭轉軸上較大的偏轉角。與常規的壓電微鏡通過信號相位的改變間接通過結構實現雙軸偏轉的設計不同，本發明可在振蕩軸上直接產生應力作用于振蕩軸使其偏轉。并且由于所利用的兩個本征模式是相互解耦的，因此可同時實現兩個扭轉軸方向上各自獨立的高角度的偏轉。
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