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    等離子體淀積爐的反應室結構

    684   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 23:37:27
    本發明公開了提供一種等離子體淀積爐的反應室結構，包括：內層石英管，其內部為用于盛裝反應氣體的反應腔；外層石英管，其套在內層石英管外并與所述內層石英管同軸，外層石英管與所述內層石英管之間具有間距；用于將反應氣體電離產生碳原子的電感線圈，其纏繞在內層石英管上，且電感線圈沿內層石英管的軸向延伸，電感線圈與射頻電源連接。本發明電感線圈通入射頻電源后，電感線圈將反應腔內的反應氣體電離產生碳原子，這樣碳原子會一層一層的落在銅箔或鋁箔上，而碳原子與碳原子之間會通過化學鍵聯接在一起，從而在銅箔或鋁箔上生長出石墨烯，這樣石墨烯具有特定的結構，更有利于鋰離子電池的儲能，從而使該鋰離子電池具有更高的能量密度。
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    “等離子體淀積爐的反應室結構” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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