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    全無機固態電致變色器件用電解質薄膜的制備方法

    1130   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 23:38:17
    本發明涉及一種全無機固態電致變色器件用電解質薄膜的制備方法，該制備方法具體步驟如下：以LiMg合金作為靶材，并將清洗備用的襯底基片置于濺射腔室內的樣品旋轉臺上，濺射腔室內預抽真空度＜1.0×10?4Pa；將氬氣與氧氣充分混合后通入濺射腔室內至濺射工作氣壓0.3～1Pa，混合氣體中氮氣和氬氣的流量比控制在10%～50%；在樣品旋轉臺旋轉工作、脈沖直流電源占空比為40%～80%、濺射功率密度控制在3W/cm2以下，靶基距離為6～12cm，濺射60～120min，濺射成LiMgN薄膜。本發明的優點在于：本發明采用脈沖直流反應磁控濺射制備無機固態鋰離子電解質LiMgN薄膜，使得連續、在線、大面積工業化生產電致變色玻璃成為可能。
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