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    胺鈦化合物及其制備方法

    1214   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 23:38:50
    一種胺鈦化合物及其制備方法，屬于有機化學技術領域。該胺鈦化合物的制備方法包括以下步驟：(1)將烷烴溶劑和二烷基胺混勻，在低溫下滴加正丁基鋰，在室溫下攪拌后得到溶解有二烷基氨基鋰的烷烴乳濁液；(2)在低溫下向步驟1制得的烷烴乳濁液中滴加四氯化鈦，滴加完畢后升溫進行反應，制得四(二烷基氨基鈦)；(3)在低溫下向步驟2制得的四(二烷基氨基鈦)中滴加肼，滴加完畢后進行升溫反應，之后減壓蒸餾并收集得到餾分1，2?三(二烷基胺基)鈦?肼。本發明高收率低成本，利于工業上量化生產，產品穩定性好，有利于經原子層沉積形成含鈦膜，尤基是良好的氮化鈦薄膜。
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