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    基于斜指換能器的可變間距微結構的制備裝置及方法

    977   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 23:42:36
    本發明公開了一種基于斜指換能器的可變間距微結構的制備裝置及方法。鈮酸鋰晶片上有一對斜指電極，中央布置有玻璃液槽；液態光敏預聚物置于玻璃液槽內；UV固化燈置于鈮酸鋰晶片下方。兩個斜指換能器上加振幅變化、具有相位差且相位差變化的激勵信號，兩側激勵信號產生的聲表面波疊加到液態光敏預聚物，形成峰谷高度變化/峰線谷線變化的可調變間距微陣列結構，通過紫外光照射使其固化成形。本發明能實現快速、可調控地制造微陣列結構，具有操作簡便、生產效率高、結構可調控等特點。
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