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    蔭罩的制造方法、蔭罩的制造裝置及其所用的清洗裝置

    922   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 23:59:38
    根據本發明的清洗裝置具有:清洗部(121),具有氣穴噴射裝置,在保持基本水平的狀態,在沿縱向輸送的帶狀金屬薄板的上面及下面,噴出對該帶狀金屬薄板是惰性的清洗液,在上述金屬薄板的表面附近發生氣穴,進行急速的清洗;第1防漏密封部(124),設置在所述清洗部的前段,制約該金屬薄板的位置,而且防止所述清洗液在與該金屬薄板輸送方向相反方向漏出。采用這樣的清洗裝置進行腐蝕后的清洗,由此可以急速地稀釋除去殘留于光刻膠膜檐部內側的腐蝕液,因而可以防止開孔尺寸、形狀的偏差。
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