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    從基板去除污染物質的方法和裝置

    733   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 00:00:41
    本發明提供了一種用于從基板去除污染金屬以改善電氣性能的方法。陽離子金屬已知對絕緣體或半導體基板的電氣性能是特別有害的。該方法包括將基板接觸下列結構式(1)的至少一種化合物的水性溶液：其中，n在每種情況中是獨立的0和6之間的整數值，X在每種情況中是獨立的H、NR4、鋰、鈉或鉀，以及至少一個X是NR4；R在每種情況中是獨立的H或C1-C6烷基，以改善基板的電氣性能。一種用于制備這種溶液的試劑盒包括1-20總重量百分比的結構式(I)的至少一種化合物的濃水劑。該試劑盒還提供了用于濃水劑稀釋以形成該溶液的操作指南。
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    “從基板去除污染物質的方法和裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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