本發明涉及用于固態微電池光刻制造、切單和鈍化的方法和設備。提供一種用于制備鋰電池的方法和設備,提供第一片材,包括具有陰極材料、陽極材料、和隔開陰極材料與陽極材料的LiPON/電解質層的基板;去除第一材料的子部分以從第一片材分離多個電池單元。在一些實施例中,該方法進一步包括在該片材上沉積第二材料以覆蓋多個電池單元;且去除第二材料的子部分以從第一片材分離多個電池單元。
聲明:
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