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    基于電光效應的單片集成光學加速度計

    730   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 00:03:58
    本發明公開了一種基于電光效應的單片集成光學加速度計。包括位于封裝外殼內的寬譜光源、模斑轉換器、馬赫曾德干涉儀結構、光電探測器、上電極、下電極、鈮酸鋰單晶薄膜層、二氧化硅緩沖層、硅襯底、彈簧振子結構、靜電力反饋模塊和制冷片，馬赫曾德干涉儀結構由1:2型Y波導、2:1型Y波導構成；寬譜光源的光通過模斑轉換器耦合進入1:2型Y波導后被分為兩束光，兩束光經1:2型Y波導的兩個分支端進入2:1型Y波導，最后直接耦合進入耦合進入光電探測器中。本發明相比分立器件而言降低了加速度計傳感器的體積，集成度高、精度高、抗電磁干擾、能在惡劣環境下工作、制備工藝簡單、易于封裝。
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    “基于電光效應的單片集成光學加速度計” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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