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    > 敏感膜圖形化的諧振型聲表面波濕度傳感器

    敏感膜圖形化的諧振型聲表面波濕度傳感器

    841   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 00:08:22
    本發明公開了一種敏感膜圖形化的諧振型聲表面波濕度傳感器，所述濕度傳感器包括壓電基底(1)，壓電基底(1)的上表面設置聲表面波叉指換能器(2)，聲表面波叉指換能器(2)的兩側分別設置聲表面波反射柵(4)，在聲表面波叉指換能器(2)和聲表面波反射柵(4)的表面涂覆圖形化敏感膜(3)。本發明通過敏感膜圖形化的方法降低了諧振器器件損耗，采用耐輻射性強的敏感膜結構、鈮酸鋰壓電基底及鋁電極結構，確保了傳感器在輻射環境下的穩定性，在相對濕度區間為10％?100％的條件下，可以達到3％的靈敏度，用于核電站反應堆冷卻系統管道泄露監測可解決核冷卻管道泄露高濕度監控布線難、維護難的問題。
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    聲明：
    “敏感膜圖形化的諧振型聲表面波濕度傳感器” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
    我是此專利(論文)的發明人(作者)
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