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    適用于粉末樣品的原子層沉積裝置、沉積方法

    1001   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 00:10:15
    本發明屬于原子層沉積技術領域，公開了一種適用于粉末樣品的原子層沉積裝置、沉積方法，原子層沉積裝置設置有：兩級式可加熱式主腔體；兩級式可加熱式主腔體外側連接有利用電機或其它方式驅動的機械轉動軸及震動器，兩級式可加熱式主腔體的每一級腔體兩端固定有柔性可加熱式氣體管道；柔性可加熱式氣體管道外接有氣動閥門及粉末過濾器；所述粉末過濾器連接有可加熱式氣體管道。本發明公開的沙漏型適用于實驗研究及工業級別粉末樣品制備的原子層沉積設備，從工藝和設備角度，突破了原子層沉積技術的效率和成本限制，可實現單次毫克～噸級別鋰電池、燃料電池、催化劑等粉末的均勻包覆。
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