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    LI、NA共摻雜生長P型ZNO晶體薄膜的方法

    1019   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 00:11:52
    本發明公開的Li、Na共摻雜生長p型ZnO晶體薄膜的方法，采用的是脈沖 激光沉積法，首先將純氧化鋅、碳酸鋰和碳酸鈉粉末球磨混合后壓制成型，燒 結，制得摻Li2O和Na2O的ZnO靶材；然后在脈沖激光沉積裝置的生長室中， 以摻Li2O和Na2O的ZnO為靶材，以O2為生長氣氛，控制O2壓強5-30pa， 激光頻率為1-5Hz，生長溫度為300℃-600℃，在襯底生長p型ZnO晶體薄 膜。本發明方法可以實現實時摻雜；摻雜濃度可以通過調節生長溫度和靶材中 Li和Na的摩爾含量來控制。采用本發明方法制備的p型ZnO晶體薄膜具有良 好的電學性能，重復性和穩定性。
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