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    適合高頻的高溫度穩定性聲表面波濾波器

    788   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 00:11:52
    本發明公開了一種能夠同時實現高溫度穩定性和高頻的聲表面波濾波器,結構包括壓電基片、制作在壓電基片表面的輸入叉指換能器和輸出叉指換能器,以及覆蓋在壓電基片、輸入叉指換能器和輸出叉指換能器上的波導層,壓電基片為適合高頻、正溫度穩定性的晶體材料四硼酸鋰(切向為(0、47.3、90)),波導層為既有高壓電耦合系數又具有負溫度系數的ZnO。輸入叉指換能器利用壓電效應,在壓電基片中激發聲波完成電聲轉換。輸出叉指換能器利用逆壓電效應,接收聲波,完成聲電轉換。通過本發明從濾波器結構方面的改進,通過控制ZnO的厚度改善樂甫波濾波器的溫度穩定性,結合LBO的傳播速度高的特點,實現高頻濾波器。
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    聲明：
    “適合高頻的高溫度穩定性聲表面波濾波器” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
    我是此專利(論文)的發明人(作者)
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