本發明公開了一種提高聲表面波濾波器耐受功率的方法,采用42°鉭酸鋰壓電基片,電信號激勵的聲表面波在此基片表面傳播;在壓電基片上蒸鍍過渡層;在過渡層上蒸鍍組合合金膜的電極層。過渡層的形貌與所述電極層的形貌一致,用以提高金屬電極的附著力。電極層設計叉指換能器的電極形貌,激勵和接收聲表面波信號,用以實現濾波功能。解決了在大功率信號長時間通過聲表面波濾波器時,因高溫或金屬遷移而引起的器件失效的問題,該方法制備的聲表面波帶通濾波器的功率耐受性得到顯著提高。
聲明:
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