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    利用非水解溶膠?凝膠工藝在SiC基底上制備ZrSiO4薄膜的方法

    1230   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 00:15:05
    本發明公開了一種利用非水解溶膠?凝膠工藝在SiC基底上制備ZrSiO4薄膜的方法，該方法分別以正丙醇鋯和正硅酸乙酯為鋯源和硅源，正丙醇為溶劑，氟化鋰為礦化劑，添加無水檸檬酸以及合適的表面活性劑制得鍍膜用的ZrSiO4溶膠，再將溶膠加熱預處理，采用浸漬?提拉法并優選鍍膜工藝參數在SiC基底上制得均勻致密的ZrSiO4薄膜。本發明具有工藝簡單、成膜質量好等突出優點。
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    “利用非水解溶膠?凝膠工藝在SiC基底上制備ZrSiO4薄膜的方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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    加工技術
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