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    樹脂材料、乙烯樹脂制袋、多晶硅棒、多晶硅塊

    698   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 00:24:30
    在本發明中，制造多晶硅時，一直使用下述的雜質表面濃度的樹脂材料。以1重量％的硝酸水溶液作為提取液利用ICP質譜分析法進行定量分析而得到的值是：磷(P)濃度為50pptw以下，砷(As)濃度為2pptw以下，硼(B)濃度為20pptw以下，鋁(Al)濃度為10pptw以下，鐵(Fe)、鉻(Cr)、鎳(Ni)、銅(Cu)、鈉(Na)、鋅(Zn)這6種元素的合計為80pptw以下，鋰(Li)、鉀(K)、鈣(Ca)、鈦(Ti)、錳(Mn)、鈷(Co)、鉬(Mo)、錫(Sn)、鎢(W)、鉛(Pb)這10種元素的合計為100pptw以下。
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