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    酸敏感光刻膠樹脂單體的制備方法

    1196   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 00:29:15
    本發明涉及一種酸敏感光刻膠樹脂單體的制備方法，其特征在于，所述制備方法包括如下反應路線：其中，M為碳數5～7的環烷基，R1為氫原子或烷基，R2為烷基；所述制備方法包括如下步驟：c)向第一溶劑中通入鹵甲烷，得到含鹵甲烷的第一溶劑溶液；d)在惰性氣體條件下，將金屬鋰和式Ⅳ化合物加入到第一溶劑中混合，滴加步驟c)制備的含鹵甲烷的第一溶劑溶液，攪拌，反應，純化，得到式Ⅲ化合物；f)將式Ⅲ化合物和縛酸劑加入到第二溶劑中混合，并滴加式Ⅱ化合物，經酯化反應，純化，得到式Ⅰ化合物。本發明制備方法得到的樹脂單體為一種酸敏感光刻膠樹脂單體，得到的產物收率高，純度高，雜質少。
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    “酸敏感光刻膠樹脂單體的制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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