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    光電芯片及其混合集成方法

    711   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 00:32:07
    一種光電芯片及其混合集成方法，所述的光電芯片包括由下至上依次設置的硅襯底，射頻芯片，二氧化硅層，BCB層，硅鍺層，鈮酸鋰波導層及金屬電極層，金屬通孔走線貫穿于自射頻芯片到金屬電極。本發明實現了光電芯片的一體化，減少了鏈路損耗和串擾電平，將信號劣化到最??；同時利用二氧化硅與LN的頻率溫度系數相反的特性，有效的實現了溫度補償效應，提高了系統的穩定性。該系統的電極結構采用DC直電極與射頻叉指電極配合的結構，有效的降低了射頻反射損耗。此外，該芯片架構可采用成熟的半導體工藝技術實現，這對于光電系統走向小體積、低功耗、實用化具有重要意義。
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