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    模塊化設計的自供紫外光源的拋光頭裝置

    1216   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 00:43:52
    本實用新型公開了一種模塊化設計的自供紫外光源的拋光頭裝置，包括自供紫外光源模塊、裝卡模塊和晶圓保持模塊，其中自供紫外光源模塊包括光源電路、中間圓盤、防護罩、環形石英玻璃板、密封蓋和O型密封墊圈，該模塊中的光源電路包括環形電路板、鋰電池組和紅外遙控開關；裝卡模塊包括上圓盤、裝卡圓柱和彈簧鋼片；晶圓保持模塊包括底圓盤和保持環。本裝置采用模塊化的設計，方便了單個模塊互換以及模塊間裝配；本裝置將紫外光源裝置與拋光頭裝置高度集成，提高了紫外光能利用率并節約了大量紫外光能；本裝置中的機械結構采用鋁合金，減少了拋光頭裝置質量，降低了電機損耗。本實用新型的高集成和輕質量特性有效實現了綠色節能。
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    “模塊化設計的自供紫外光源的拋光頭裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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