1.本實用新型涉及硅片分選技術領域,尤其涉及一種用于分選機的高精度硅片輸送裝置。
背景技術:
2.在硅片分選機的生產線中,生產硅片需要先將硅棒切割成硅片,然后對硅片清洗,清洗完成后需要對硅片進行多項檢測,例如包括表面臟污、厚度、隱裂、電阻率等性能的檢測,檢測完成后需要清除清洗時產生的硅片表面碎片。
3.現有技術中的吹片裝置通常用于清洗時從硅片側面吹片,而這種技術方案不適用于輸送過程中吹走硅片表面碎片。
技術實現要素:
4.針對上述現有技術的缺點,本實用新型的目的是提供一種用于分選機的高精度硅片輸送裝置,以解決現有技術中的一個或多個問題。
5.為實現上述目的,本實用新型的技術方案如下:
6.一種用于分選機的高精度硅片輸送裝置,包括硅片、底座以及用于輸送所述硅片的輸送線,所述輸送線設置在所述底座上,所述輸送線包括第一輸送組和第二輸送組,所述第一輸送組遠端和第二輸送組近端具有間隔,所述底座對應間隔處開設第一孔,所述第一孔下方設置盒體,所述第一輸送組包括第一平臺,所述第一平臺兩側設置支架,所述支架上設置吹風裝置,所述吹風裝置的出風口對準所述間隔處,所述硅片輸送到間隔處時吹風裝置吹風將硅片表面碎片吹落至盒體。
7.進一步的,所述吹風裝置為風刀,所述吹風裝置還包括氣泵,所述氣泵通過氣管與所述風刀連接。
8.進一步的,所述風刀底部開設至少一條出風口,所述出風口的風向與所述硅片表面垂直。
9.進一步的,所述風刀設置于所述輸送裝置中線處。
10.進一步的,所述第一平臺遠端兩側可旋轉的設置第一被動驅動件,所述第一平臺近端兩側可旋轉的設置第一主動驅動件,所述第一主動驅動件與第一被動驅動件通過第一傳送帶傳動。
11.進一步的,所述第一被動驅動件包括兩個第一被動帶輪,所述第一主動驅動件包括設置在第一平臺內的第一電機以及兩個第一主動帶輪,所述第一主動帶輪通過聯軸器連接第一電機的輸出端。
12.進一步的,所述第二輸送組包括第二平臺,所述第二平臺近端兩側可旋轉的設置第二被動驅動件,所述第二平臺遠端兩側可旋轉的設置第二主動驅動件,所述第二主動驅動件與第二被動驅動件通過第二傳送帶傳動。
13.進一步的,所述第二被動驅動件包括兩個第二被動帶輪,所述第二主動驅動件包
括設置在第二平臺內的第二電機以及兩個第二主動帶輪,所述第二主動帶輪通過聯軸器連接第二電機的輸出端。
14.進
聲明:
“用于分選機的高精度硅片輸送裝置的制作方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)