n型topcon電池片及其制備方法
技術領域
1.本發明屬于太陽能電池技術領域，具體而言，涉及n型topcon電池片及其制備方法。
背景技術：
2.目前光伏市場主流電池產品為p型perc電池，下一代的升級產品最大可能為n型topcon電池，常規工藝路線topcon電池硼擴散后需要進行背面拋光工藝，目的為去除硅片側邊及背面邊緣硼擴散繞鍍，同時形成背面小方塊結構，增強背面鈍化效果。為了兼容電池背面金屬的接觸性能，電池背面堿拋方塊大小只能控制在～5μm，相對于方塊尺寸更大(＞20um)的背面形貌結構，其鈍化效果是相對較差，限制了電池性能的提升。
技術實現要素：
3.本發明旨在至少在一定程度上解決相關技術中的技術問題之一。為此，本發明的一個目的在于提出n型topcon電池片及其制備方法，其中，采用該制備方法既可以提高硅片背面的鈍化效果，同時還能提高硅片背面金屬電極與硅基體的接觸性能，能夠降低電池的電阻，同時提高電池的開路電壓、填充因子和電池轉化效率。
4.在本發明的一個方面，本發明提出了一種制備n型topcon電池片的方法。根據本發明的實施例，該方法包括：
5.(1)提供單面含有硼擴散的n型硅片；
6.(2)以所述硅片背離硼擴散的一側為背面，對所述硅片進行背面拋光處理，以便在硅片背面形成預期尺寸的方塊形貌；
7.(3)在步驟(2)得到的硅片背面沉積硅氧化合物層；
8.(4)對所述硅氧化合物層進行局部激光開槽，以便去除開槽部位的硅氧化合物層并對下層硅進行燒灼，形成倒金字塔結構；
9.(5)對步驟(4)得到的硅片進行背面腐蝕處理，并去除未激光區域的硅氧化合物層；
10.(6)在步驟(5)得到的硅片背面沉積隧穿氧化層和多晶硅層，
11.其中，所述硅片背面金屬柵線設置在對應開槽圖形的位置。
12.本發明上述實施例的制備n型topcon電池片的方法至少具有以下優點：1、對硅片背面進行拋光時可以在硅片背面形成尺寸更大的方塊形貌，例如可以使方塊尺寸達到20μm左右，相對于現有背面拋光形成的5μm左右的方塊尺寸，本發明中可以形成更大的方塊尺寸形貌，進而使得鈍化膜在更大方塊、平整的硅基體上沉積更加致密，鈍化效果更好；2、硅片背面形成尺寸更大的方塊形貌時，背面拋光控制的刻蝕量與常規工藝相比也較大，由此能夠確保電池側面、背面繞擴層被完全去除，保證較好的電池并聯電阻，
聲明：
“N型TopCon電池片及其制備方法與流程” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)
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編輯：中冶有色網
來源：泰州隆基樂葉光伏科技有限公司
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2025年08月05日 ~ 07日 
