1.本發明涉及一種硅片切割液硅粉回收系統及其工藝。
背景技術：
2.在光伏產業鏈中，硅片切割是光伏電池生產中一個十分重要的工序，而對于硅片生產商而言，sic砂和peg是最重要的輔料，在切割加工成本消耗中占據主要位置。砂漿是太陽能硅片切割中通用的一種說法，主要由聚乙二醇(peg)與碳化硅(sic)微粉混合攪拌而成。在硅片切割領域，最直接降低生產成本的措施就是對切割后的廢砂漿進行回收利用。目前主流的處理方法是采用離線回收技術，即切片后的廢砂漿交給回收處理的工廠進行處理，分離出砂和液重新處理后，返回切片廠重新攪拌調和后進行使用。線切割加工的過程有賴于晶硅切割液(又稱切削液、懸浮液)、碳化硅微粉(又稱磨料、切割砂)的配合使用，同時會伴生大量的晶硅切割廢砂漿。根據國內硅片企業的平均工藝水平，1mw硅片約需耗用12噸晶體硅；每切割1噸晶體硅約需要使用3.0噸碳化硅微粉和3.2噸晶硅切割液，并在切割過程中產生約7.6～7.9噸切割廢砂漿。根據2010年國內硅片產業的統計數據，預期2012年，國內硅片企業年需碳化硅微粉約115.2萬噸、晶硅切割液約122.88萬噸，年產生切割廢砂漿總量約300萬噸。切割廢砂漿的主要成分為切割液組份、碳化硅、硅粉以及金屬雜質。眾所周知，晶硅切割切割環節有約50％的晶硅被切割成硅粉而進入到廢砂漿中，由于缺乏有效的回收和綜合利用技術，每年上萬t晶硅材料被白白損失掉。單晶和多晶硅都是通過高能耗、高成本得到的，其市場價值遠大于碳化硅、切割液等輔材；若能針對硅片生產環節的廢棄晶硅組份加以回收利用，使其體現應有的循環經濟價值，無疑具有極其巨大的經濟、社會和環境效益。
3.現有技術中對硅片切割液的性質也有所研究，以線據廢料為原材料，xrd測試表明線鋸廢料中固體粉末主要成分為sic和si；廢料的固體粉末中存在兩種粒徑以及形貌差異較大的顆粒，其中棱角分明、尺寸較大，粒徑在4～8μm左右的為碳化硅顆粒；粒徑較小，粒徑在2μm以下的為硅粉，整體平均粒度約為3.7μm。將原始的線鋸廢料和用去離子水清洗去peg后得到的廢料在80℃恒溫水浴中放置7天均未發現明顯的氧化現象，表明碳化硅和硅粉在水中相對穩定，結合密度和顆粒度的差異以及碳化硅親水憎油、硅粉憎水親油的特性，在二者的分離上可以采用水力旋流或相轉移分離工藝(參見黃建華在《科技視界》雜志上發表的論文《硅片線鋸廢料中固體
聲明：
“硅片切割液硅粉回收系統及其工藝的制作方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)
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編輯：中冶有色網
來源：江蘇秉盛環保工程有限公司
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2025年08月05日 ~ 07日 
