上海有色金屬物理檢測設備

D300 經濟型高精度臺階儀 3396     

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Alpha-Step D-300 探針式輪廓儀支持臺階高度、粗糙度、翹曲度和應力的2D 測量。光學杠桿傳感器技術提供高分辨率測量，大垂直范圍和低觸力測量功能。 探針測量技術的一個優點是它是一種直接測量，與材料特性無關?？烧{節的觸力以及探針的選擇都使其可以對各種結構和材料進行測量。通過測量粗糙度和應力，可以對工藝進行量化，確定添加或去除的材料量，以及結構的多種變化。

ezAFM-便攜式原子力顯微鏡 3371     

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ezAFM是新設計的精致型原子力顯微鏡，具有設計緊湊、美觀大方、高穩定性、占用空間小等特點，而且軟件功能強大、操作簡單、用戶界面良好，而且價格實惠，性價比較為高。它是理想的實驗室用原子力顯微鏡，廣泛應用于高等教育、納米技術教育和基礎研究等領域。產品系列包括：ezAFM、ezAFM+、ezAFM AQUA、以及ezAFM-Vacuum，ezSTM除了基本的形貌等掃描，可以用于電學、磁學等拓展模式，以及液相、真空環境等。

MVI原子力顯微鏡與可見-紅外-拉曼聯用系統 3490     

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原子力顯微鏡(Atomic Force Microscope, AFM)經過30多年的發展后，從形貌測試及其它常規功能來看已經非常成熟。然而常規的原子力顯微鏡也越來越無法滿足科研人員在納米尺度下對于樣品進行多性質原位測試分析的需求，尤其在化學、光學、電學、熱學、力學等領域。 在具備常規原子力顯微鏡功能的條件下，基于光誘導力顯微鏡（Photo-induced Force Microscope, PiFM)技術，結合波長可調的可見-紅外光源，從而實現10nm以下空間分辨可見-紅外成像與光譜采集，無需遠場光學接收器及光譜儀。 此外，VistaScope原子力顯微鏡還可以與各類拉曼光譜儀

VITA　反應離子刻蝕機（垂直腔室） 2019     

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反應離子刻蝕系統，垂直腔室

SPRm200 表面等離子共振顯微鏡 2333     

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SPRm200 表面等離子共振顯微鏡 工作原理基于表面等離子共振（SPR）技術。是將表面等離子體共振技術和光學顯微鏡巧妙結合為一體的生物傳感檢測儀?？梢酝瑫r得到細胞原位明場成像、SPR成像、及SPR動力學曲線定量親和常數、結合解離常數，它為免標記研究分子相互作用的領域開辟一個嶄新的前沿。專門針對細胞膜蛋白和相關分子免標記檢測而設計的SPRm200， 使您在不需要從細胞中提取和分離膜蛋白的前提下實時觀察細胞結構并同時測量藥物和靶點在細胞上的結合過程。還可進行對藥物和在天然狀態下的膜蛋白之間相互作用的測量，高分辨SPR成像，可

原位納米壓痕儀 2366     

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NanoFlip產品既可以工作在真空環境下進行各種原位力學測試；也可以直接在大氣環境下測試樣品的硬度、楊氏模量或者其它物理力學性能。 NanoFlip在硬度和楊氏模量測試、連續剛度測試（CSM）、力學性能譜圖（Mapping）、納米動態力學分析（DMA）、劃痕和磨損測試、柱壓縮等測試中表現出色，可同時將SEM圖像與力學測試數據同步。NanoFlip還可以進行快速壓痕測量，這是在惰性環境（如手套箱）中研究非均相材料的重要手段。

Candela CS920表面缺陷檢測儀 2078     

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KLA Candela光學表面缺陷分析儀（OSA）可對半導體及光電子材料進行先進的表面檢測。Candela系列既能夠檢測Si、砷化鎵、磷化銦等不透明基板，又能對SiC、GaN、藍寶石和玻璃等透明材料進行檢測，成為其制程中品質管理及良率改善的有力工具。 Candela系列采用光學表面分析（OSA）專用技術，可同時測量散射強度、形狀變化、表面反射率和相位轉移，為特征缺陷（DOI）進行自動偵測與分類。OSA檢測技術結合散射測量、橢圓偏光、反射測量與光學形狀分析等基本原理，以非破環性方式對Wafer表面的殘留異物，表面與表面下缺陷，形狀變化和薄膜厚度

電阻率測試儀 1886     

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Filmetrics的薄膜電阻測量設備開發源自于有著超過30年經驗的KLA的薄膜電阻計量技術，并由20年臺式測量設備開發經驗的Filmetrics團隊完善了桌面式方塊電阻測量產品。KLA薄膜電阻測量技術包括接觸（4PP）和非接觸（EC）方法。 Filmetrics的R50系列方塊電阻測量儀器可測量沉積在多種基材上的導電片和薄膜，跨越10個數量級范圍電阻率，包括：半導體晶圓基板、玻璃基板、塑料（柔性）基材、PCB圖案特征、太陽能電池、平板顯示層和圖案化特征、金屬箔

Desk V 薄膜沉積解決方案 1957     

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Desk V樣品制備系統配制用于蒸發和濺射，是一種高生產率的解決方案，可提供卓越、一致和高度可重復的結果。 Desk V鍍膜系統提供兩種版本：Desk V HP和Desk V TSC。Desk V TSC，是渦輪分子泵濺射鍍膜機選項，專為高分辨率顯微鏡樣品設計，適用于氧化和非氧化金屬。Desk V磁控濺射裝置精確沉積導電鍍膜，其熱蒸發選項可以沉積薄碳層(使用棒材或紗線)。

D300 經濟型高精度臺階儀 1970     

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Alpha-Step D-300 探針式輪廓儀支持臺階高度、粗糙度、翹曲度和應力的2D 測量。光學杠桿傳感器技術提供高分辨率測量，大垂直范圍和低觸力測量功能。 探針測量技術的一個優點是它是一種直接測量，與材料特性無關?？烧{節的觸力以及探針的選擇都使其可以對各種結構和材料進行測量。通過測量粗糙度和應力，可以對工藝進行量化，確定添加或去除的材料量，以及結構的多種變化。

ezAFM-便攜式原子力顯微鏡 1937     

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ezAFM是新設計的精致型原子力顯微鏡，具有設計緊湊、美觀大方、高穩定性、占用空間小等特點，而且軟件功能強大、操作簡單、用戶界面良好，而且價格實惠，性價比較為高。它是理想的實驗室用原子力顯微鏡，廣泛應用于高等教育、納米技術教育和基礎研究等領域。產品系列包括：ezAFM、ezAFM+、ezAFM AQUA、以及ezAFM-Vacuum，ezSTM除了基本的形貌等掃描，可以用于電學、磁學等拓展模式，以及液相、真空環境等。

MVI原子力顯微鏡與可見-紅外-拉曼聯用系統 2427     

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在具備常規原子力顯微鏡功能的條件下，基于光誘導力顯微鏡（Photo-induced Force Microscope, PiFM)技術，結合波長可調的可見-紅外光源，從而實現10nm以下空間分辨可見-紅外成像與光譜采集，無需遠場光學接收器及光譜儀。VistaScope原子力顯微鏡還可以與各類拉曼光譜儀進行聯用，組成原子力顯微鏡與可見-紅外-拉曼聯用系統，以滿足科研人員在納米尺度下的測試需求。

P7 晶圓探針式輪廓儀/臺階儀 1927     

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KLA是全球半導體在線檢測設備市場較大的供應商，在半導體、數據存儲、 MEMS 、太陽能、光電子以及其他領域中有著不俗的市占率。 P-7是KLA公司的第八代探針式臺階儀系統，歷經技術積累和不斷迭代更新，集合眾多技術優勢。 P-7建立在市場領先的P-17臺式探針輪廓分析系統的成功基礎之上。 它保持了P-17技術的測量性能，并作為臺式探針輪廓儀平臺提供了好的性價比。 P-7可以對臺階高度、粗糙度、翹曲度和應力進行2D和3D測量，其掃描可達150mm而無需圖像拼接。從可靠性表現來看， P-7具有較好的測量重復性。UltraLite?傳感器具有動態力控制，