權利要求書： 1.一種太陽能電池的制造方法，是具備半導體基板、層疊在上述半導體基板的與一個主面側相反的一側的另一個主面側的一部分亦即第一區域的第一導電型半導體層、以及層疊在上述半導體基板的上述另一個主面側的另一部分亦即第二區域的第二導電型半導體層的背面接合型的太陽能電池的制造方法，所述太陽能電池的制造方法包含以下工序：第一半導體層材料膜形成工序，在上述半導體基板的上述另一個主面側形成上述第一導電型半導體層的材料膜；
剝離層形成工序，在上述第一導電型半導體層的材料膜上形成剝離層；
第一半導體層形成工序，除去上述第二區域的上述剝離層以及上述第一導電型半導體層的材料膜，由此在上述第一區域形成圖案化的上述第一導電型半導體層以及上述剝離層；
第二半導體層材料膜形成工序，在上述第一區域的上述剝離層以及上述第二區域上形成上述第二導電型半導體層的材料膜；以及第二半導體層形成工序，除去上述剝離層，由此除去上述第一區域的上述第二導電型半導體層的材料膜，在上述第二區域形成圖案化的上述第二導電型半導體層，上述第二半導體層形成工序包含：至少一次蝕刻工序，將上述半導體基板浸漬在用于除去上述剝離層的蝕刻溶液；以及至少一次沖洗工序，將上述半導體基板浸漬在用于沖洗上述半導體基板的表面的沖洗溶液，在上述蝕刻工序以及上述沖洗工序中的至少一個工序中，在溶液中添加抑制被除去的剝離層和/或第二導電型半導體層的材料膜再附著于上述半導體基板的主面的附著抑制劑。
2.根據權利要求1所述的太陽能電池的制造方法，其中，上述第二半導體層形成工序包含依次進行的多個上述沖洗工序，在多個上述沖洗工序中的第二個以后的上述沖洗工序中，在上述沖洗溶液中添加上述附著抑制劑。
3.根據權利要求1或2所述的太陽能電池的制造方法，其中，上述附著抑制劑是表面活性劑。
4.根據權利要求3所述的太陽能電池的制造方法，其中，含有上述表面活性劑的上述沖洗溶液的pH是7以上。
5.根據權利要求3所述的太陽能電池的制造方法，其中，上述表面活性劑含有陰離子系的表面活性劑或者陽離子系的表面活性劑或者它們的混合劑。
6.根據權利要求5所述的太陽能電池的制造方法，其中，上述表面活性劑是含有芳香族構造以及長鏈直鏈狀烷基構造的有機酸。
7.根據權利要求4所述的太陽能電池的制造方法，其中，上述表面
聲明：
“太陽能電池的制造方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)
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編輯：中冶有色網
來源：株式會社鐘化
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2025年08月05日 ~ 07日 
