權利要求
1.氧化鋅鎂靶材的制備方法，其特征在于，包括以下步驟：
步驟S1、按設計組分別取ZnO和MgO粉末原料；將所述ZnO粉末加入去離子水進行球磨處理6-12小時，使ZnO漿料中固體顆粒物的粒徑為0.3μm～0.6μm，將MgO粉末加入去離子水進行球磨處理20-30小時，使MgO漿料中固體顆粒物的粒徑為≤0.1μm；
步驟S2、對所述ZnO和MgO漿料分別進行噴霧造粒處理，得到不同粒徑的ZnO和MgO的粉末顆粒，即ZnO粒徑為0.3μm～0.6μm，MgO粒徑為≤0.1μm；
步驟S3、對所述ZnO和MgO的粉末顆粒按照質量比(90～99％):(1～10％)進行混合，再加入去離子水、分散劑及粘接劑，進行第二次球磨混料5-10小時，獲得氧化鋅鎂漿料，將所述氧化鋅鎂漿料在60-100℃條件下烘干，控制含水率為1-5％，獲得氧化鋅鎂混合粉；
步驟S4、對所述氧化鋅鎂混合粉進行冷等靜壓處理，獲得素坯；
步驟S5、在100～120℃的條件下，對所述素坯進行干燥脫水處理，保溫時間2～7小時；
步驟S6、對干燥脫水處理后的素坯進行分段脫脂處理，以0.5-2℃/min升至250℃，保溫1-3小時；1-3℃/min升至400℃，保溫4-6小時；以0.5-2℃/min升至550℃，保溫1-3小時；得到脫脂后的素坯；
步驟S7、對所述脫脂后的素坯進行分段燒結處理，以5-15℃/min迅速升至550℃，不保溫；0.5-2℃/min升至750℃，保溫1-3小時；以0.5-2℃/min升至950℃，保溫1-3小時；以0.5-2℃/min升至1150℃，保溫1-3小時；以0.5-2℃/min升至1350℃，用120～300min緩慢升至1450℃，不保溫，直接隨爐冷卻到室溫，獲得氧化鋅鎂靶材半成品；
步驟S8、對所述氧化鋅鎂靶材半成品進行機加工切割，表面打磨，尺寸修整，獲得滿足尺寸要求的靶材成品。
2.根據權利要求1所述的氧化鋅鎂靶材的制備方法，其特征在于，所述步驟S1中，所述ZnO和MgO粉末原料的體積比為1:2與去離子水混合；所述將所述ZnO粉末加入去離子水進行球磨處理6-12小時后，含ZnO的漿料中固相體積分數為40～60％；所述將MgO粉末加入去離子水進行球磨處理20-30小時后，含MgO的漿料中固相體積分數為50～
聲明：
“氧化鋅鎂靶材及制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)
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編輯：中冶有色網
來源：深圳市眾誠達應用材料科技有限公司
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2025年07月23日 ~ 26日 
