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    納米制造系統

    952   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 15:03:02
    一種納米制造系統,包括原子粒子產生系統,原子粒子產生系統與氣源連通,原子粒子產生系統與原子輸運系統相連,原子輸運系統與真空工作室相連,真空工作室內設置有納米孔陣列掩模板,納米孔陣列掩模板邊緣上方為光學對準系統,下方為納米級電子對準系統,納米孔陣列掩模板下方設置有鋪設有襯底材料;氣源進入原子粒子產生系統獲得能量與動量后產生原子粒子,原子粒子進入真空工作室,支架調節控制系統實現納米孔陣列掩模板與襯底材料的相對運動,實現掩模功能與納米圖形加工;本發明具有控制精度高、加工尺度小、對襯底材料損傷小、電學影響小、系統結構相對簡單、功能材料多樣以及結構圖形化方便的特點。
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