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    巨磁阻抗薄膜材料及制備方法

    1053   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 15:05:01
    一種巨磁阻抗薄膜材料及其制備方法,屬于功能材料技術領域。巨磁阻抗薄膜材料由襯底基片表面彼此相間的NiFe合金薄膜層和摻Cr的NiFe合金薄膜層形成多層薄膜體系,其中NiFe合金薄膜層Ni、Fe之間的質量比為(80～81)∶(19～20);摻Cr的NiFe合金薄膜層Ni、Fe之間的質量比為(80～81)∶(19～20),且摻雜元素Cr的質量占Ni、Fe和Cr質量總和的1%～8%;NiFe合金薄膜層和摻Cr的NiFe合金薄膜層厚度不超過200納米、且數量級相當,整體厚度達到微米量級。本發明的巨磁阻抗薄膜材料采用具有不同飽和磁化強度的磁性層間隔而成,相比磁性層與非磁性層形式的錯層薄膜材料體系,其飽和磁化強度更大,從而可獲得更大的巨磁阻抗效應,為制備巨磁阻抗微傳感器提供了一種性能更為優異的材料選擇。
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