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    > 雙敏感源聲表面波傳感器

    雙敏感源聲表面波傳感器

    934   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 15:07:02
    一種雙敏感源的聲表面波傳感器，屬于電子功能材料與器件技術領域。該傳感器包括襯底基片，所述襯底基片為LGS襯底基片，襯底基片上設置有界面諧振器及AlN薄膜層，AlN薄膜層完全覆蓋界面諧振器，AlN薄膜層上設置有表面諧振器，且表面諧振器在豎直方向的投影與界面諧振器的豎直投影重合，所述界面諧振器與表面諧振器皆為聲表面波諧振器，聲表面波諧振器中的金屬薄膜電極的材質為耐高溫金屬。器件結構簡單，能夠同時對應力及溫度進行有效監測，由于材質為LGS、AlN及耐高溫金屬，因而可適用于高溫復雜環境，無源無線，穩定性強。本發明適用于對應力和溫度同時進行監測。
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    聲明：
    “雙敏感源聲表面波傳感器” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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