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    基于CMUT的海洋生化物質監測傳感器及其制備與測量方法

    1219   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 15:10:02
    一種基于CMUT的海洋生化物質監測傳感器及其制備與測量方法。其總體結構由上而下為：上薄板，上空腔、振動薄膜、下空腔、基座、敏感材料層、多孔下電極。所述上空腔和下空腔分別位于振動薄膜的上、下兩側，所述敏感材料層設置在所述基座下表面，所述下電極設置在所述敏感材料層的下表面，所述下電極設置有貫穿其厚度的通孔，所述振動薄膜同時作為上電極。本發明生化傳感器可避免液體環境中流體阻尼對振動薄膜品質因子的影響，因而能實現高靈敏度生化物質測量。
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