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    纖維增強金屬基復合材料Y2O3涂層的物理氣相沉積方法

    747   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 15:58:02
    本發明涉及一種纖維增強金屬基復合材料Y2O3涂層的物理氣相沉積方法，本發明的步驟如下：將帶C涂層的連續SiC纖維纏繞到樣品架上，放入到磁控濺射設備的樣品室；抽真空使背底真空優于8×10?4Pa，通入Ar氣，對樣品架施加?500～?2000V高偏壓，對纖維表面進行離子清洗；再通入反應氣體氧氣，結合閘板閥控制工作壓強；啟動濺射電源，在濺射過程中交替控制氧氣流量或濺射偏壓獲得不同Y2O3相(單斜/立方)，實現相結構交替涂層；關閉濺射，在Ar氣保護環境下，冷卻至50℃以下。本發明中單斜/立方相交替形成的層界面有效降低了應力和改善附著力，制備出界面完好的SiC纖維增強鎳基復合材料，有助于實現高性能纖維增強鎳基復合材料的制備。
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    復合材料
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